價格
電議
型號
UTM300B
品牌
ULVAC愛發(fā)科
所在地
四川省 成都市
更新時間
2025-06-17 14:36:39
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ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵 UTM300B
ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵 UTM300B
渦輪分子泵是實現(xiàn)高真空環(huán)境的重要設備，廣泛用于半導體制造和研究設施。 該泵通過高速移動分子來有效地產生真空。
渦輪分子泵由高速旋轉的轉子和固定定子組成。 轉子的葉片與分子碰撞，使分子加速流向排氣口，從而產生真空。 這個過程利用分子的動能并且非常高效。
與其他真空泵相比，渦輪分子泵具有非常高的抽速，可以快速準備真空環(huán)境，并且由于不使用油，可以提供清潔的真空環(huán)境，非常適合半導體制造等精密工作，并且具有從低真空到高真空的廣泛適用性，并應用于各種行業(yè)和研究領域。
這是一種渦輪分子泵，帶有一個使用磁浮軸承的獨立控制器。 我們擁有排氣速度為 300~4000L/s 的型號陣容。 控制器可以監(jiān)控運行狀態(tài)并支持各種通信標準。
這是一種使用陶瓷滾珠軸承的復合翼型渦輪分子泵。
通過將控制器和泵集成在一起，可以節(jié)省空間。
*的高背壓特性也使得減小輔助泵的尺寸成為可能。
長處
由于對安裝方向或
安裝方向沒有限制，因此擴大了設備設計的自由度。
帶有
車載控制器的控制器安裝在渦輪體上，可有效減少配線和縮小排氣系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比和高排氣壓力
壓縮比以及在高背壓下運行的能力使輔助泵的小型化成為可能。
提供三種類型的法蘭：
VG、ICF 和 ISO-K，有三種類型的進氣法蘭可供選擇。
它旨在減少碳氫化合物的回流，不僅在清潔真空
運行期間，而且在泵停止時也是如此。
用
主要用于分析設備、研發(fā)設備、實驗室設備等的排氣系統(tǒng)。
氣相沉積設備、濺射設備等的主要排氣系統(tǒng)
用于 H2 和 He 等輕氣體的主排氣系統(tǒng)
| 型 | UTM70B 系列 | UTM300B | |||||
| 泵 | 冷卻方式 | 自然風冷 | 強制風冷 | 自然風冷 | 強制風冷 | ||
| 法蘭孔 | 進氣口 *1 | VG65、ICF114、ISO063-K | VG100、ICF152、ISO100-K | ||||
| 排氣口 | KF16 系列 | KF16 系列 | |||||
|
抽速 （無保護網） |
注2 | 70 升/秒 | 280 升/秒 | ||||
| 他 | 60 升/秒 | 270 升/秒 | |||||
| H2 型 | 49 升/秒 | 220 升/秒 | |||||
|
極限壓力 *2 |
烘烤后 | - *3 | 10-8帕 | - *3 | 10-8帕 | ||
| 烘烤前 | 10-6帕 | 10-6帕 | 10-6帕 | ||||
| *壓縮比 | 注 2 ： >1×109， 他 ： 4×107、H2 ： 4×105 | 注 2 ： >1×109， 他 ： 7×106, H2 ： 1×105 | |||||
|
*入口壓力 *4， *5， *6 |
注2 | 0.43帕 | 1.1帕 | 0.06帕 | 0.7帕 | ||
|
*排氣口壓力 *4， *5， *7 |
注2 | 300帕 | 900帕 | 100帕 | 1000帕 | ||
|
*連續(xù)運行流量 *8 |
無氣體 吹掃 |
注2 | 15sccm *9 | 40sccm *9 | 10 厘米 *10 | 100 平方厘米 *10 | |
|
無氣體 吹掃 |
氦氣 | - | 10sccm *9 | - | 30 厘米 *10 | ||
|
帶氣體 吹掃 |
- | 15sccm *9 | - | 40 厘米 *10 | |||
|
輔助泵 （10SCCM 吸力時）*11 |
60L/min 或更高 | 120L/min 或更高 | |||||
| 質量 | VG：3.3kg， ISF：3.0kg， ISO：5.0kg | 6.0 公斤 / 9.0 公斤 | 6.3 公斤 / 9.3 公斤 | ||||
| 轉速 | 87000轉 | 60000轉 | |||||
|
啟動時間（* 80%） （24 VDC 時，背壓 5 Pa 或更低） |
1.7 分鐘 | 3.5 分鐘 | |||||
| 表面處理 *12 | 沒有 | ||||||
| 安裝方向 | 全方位 | ||||||
| 噪聲 *13 | 48 dB（A） 或更低 | 50dB（A） 或更低 | |||||
| 電源規(guī)格 | 輸入功率 | DC24V ±5%，120W | DC24V ±5%，180W | ||||
| 觸點輸入和輸出 | REMOTE（D-sub 15 針公頭）4 個數(shù)字輸入和輸出，1 個模擬輸出 | ||||||
| 串行通信 | RS-485 （D-sub 15 針公頭，與 REMOTE 共享） | ||||||
| LED 指示 | 電源、正常、警報 | ||||||
| 開關 | 啟動/停止，重置 | ||||||
| 變速 | 轉速可在默認泵數(shù)的 25%~* 之間變化（以 0.1% 為增量設置） | ||||||
| 異常檢測 | 檢測警報、警告 | ||||||
| 保護行為 | 警報、警告 | ||||||
| 標準配件 |
使用說明書 （CD-R）、保護網（僅限 VG、ICF。 ISO 法蘭集成在墊圈中）、墊圈 （用于進氣口）、防塵帽（用于進氣口、排氣口、連接器）各 1 個 |
||||||
| 適用標準 | CE、TUVus | ||||||
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ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵 UTM300B
渦輪分子泵是實現(xiàn)高真空環(huán)境的重要設備，廣泛用于半導體制造和研究設施。 該泵通過高速移動分子來有效地產生真空。