高速擴(kuò)散器過濾器可以在由真空恢復(fù)到大氣壓的這一過程中,減少半導(dǎo)體表面的異物附著。

聚集型氣體面板過濾器
安裝在IGS(聚集型氣體供應(yīng)系統(tǒng))內(nèi)部，主要用于去除IGS(聚集型氣體供應(yīng)系統(tǒng))中搭載的元器件上的異物或氣體中的異物(0.0025um)。
目前主流的型號是1.125英寸。

小流量、大流量氣體過濾器
*主要用于去除氣體及裝置配管等空氣中的異物(0.0025um)。