凹槽型·反射型接插件式
EE-SPX301/401
EE-SPY30/40
抗周圍外來光的干擾的變調(diào)光式
電源電壓為DC5～24V的大量程電壓輸出型。
帶有容易調(diào)整的光軸標(biāo)識。
帶有便于調(diào)整、動作確認(rèn)的入光顯示燈。

EE-SPX301
EE-SPX401
EE-SPY301
EE-SPY401
EE-SPY302
EE-SPY402
EE-1002
EE-1003
EE-2001
EE-1003A

晶圓片托架落座傳感器
EE-SPY801/802
薄片載體的落座檢測
依靠與導(dǎo)槽并用，設(shè)定落座位置。
晶圓片托架的接觸面使用了氟素樹脂。防化學(xué)性能優(yōu)越。
在的光學(xué)結(jié)構(gòu)，幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用強(qiáng)抗外部干擾光的變調(diào)光方式。
電線使用凈化電線(無粉塵)。
EE-SPY801
EE-SPY802
EE9-C01
EE9-C02
EE-SPY301
EE-SPY302
EE-SPY311
EE-SPY312
EE-SPY401
EE-SPY402
EE-SPY411
EE-SPY412
EE-SPY414
EE-SPY415
EE-SPY801
EE-SPY802
EE-SPZ301-A
EE-SPZ302
EE-SPZ401-A
EE-SPZ402
EE-SV3
EE-SV3-B
EE-SV3-C
EE-SV3-CS
EE-SV3-D
EE-SV3-DS
EE-SV3-G
EE-SV3-GS
EE-SX1018
EE-SX1025
EE-SX1031
EE-SX1035
EE-SX1041
EE-SX1041-CA
EE-SX1041-KM
EE-SX1042
EE-SX1046
EE-SX1054
EE-SX1055
EE-SX1055 S1
EE-SX1055 S2
EE-SX1057
EE-SX1058-P1
EE-SX1063-P1
EE-SX1070
EE-SX1071
EE-SX1071-RANKB
EE-SX1080
EE-SX1081
EE-SX1088
EE-SX1094(Q)
EE-SX1096
EE-SX1103
EE-SX1105
EE-SX1106
EE-SX1107
EE-SX1108
EE-SX1109
EE-SX1115
EE-SX1115-A
EE-SX1128
EE-SX1131
EE-SX1137
EE-SX1140
EE-SX1235A-P1
EE-SX1235A-P1 S1
EE-SX1235A-P2
EE-SX1235A-P2 S2
EE-SX1235A-P2-S1
EE-SX129
EE-SX138
EE-SX153
EE-SX198
EE-SX199
EE-SX2088
EE-SX212
EE-SX298
EE-SX3009-P1
EE-SX3009-P17
EE-SX301
EE-SX3019-P2
EE-SX305
EE-SX3070
EE-SX3081
EE-SX3088
EE-SX3239-P2
EE-SX329
EE-SX384
EE-SX398
EE-SX398 S1
EE-SX4009-P1
EE-SX4009-P10
EE-SX401
EE-SX4015A-P5
EE-SX4015-P3
EE-SX4015-P3-S30
EE-SX4015-P5
EE-SX4019-P2
EE-SX405
EE-SX4070
EE-SX4081
EE-SX4088
EE-SX4134
EE-SX4134-1
EE-SX416-P1
EE-SX4235A-P1
EE-SX4235A-P1-S1
EE-SX4235A-P2
EE-SX4235A-P2-S1
EE-SX4238-P2
EE-SX4238-P2 CHN
EE-SX4238-P4 CHN
EE-SX460-P1
EE-SX460-P12(Q)
EE-SX470
EE-SX470P
EE-SX471
EE-SX471P
EE-SX472
EE-SX472P
EE-SX473
EE-SX473P
EE-SX474
EE-SX474P
EE-SX484
EE-SX493
EE-SX495
EE-SX498
EE-SX670
EE-SX670A
EE-SX670B
EE-SX670-C1J-R 0.1M
EE-SX670P
EE-SX670P-WR 1M
EE-SX670R
EE-SX670-WR 1M
EE-SX671
EE-SX671A
EE-SX671-C1J-R 0.1M
EE-SX671P
EE-SX671P-C1J-R 0.1M
EE-SX671P-WR 1M
EE-SX671R