半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 規(guī)格 |
MX61L |
MX61 |
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光學(xué)系統(tǒng) |
UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正) |
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機(jī)身 |
觀察方法 |
明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 |
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反射/透射 |
反射/透射 |
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照明裝置 |
機(jī)身一體型(明視場,暗視場+1選件) |
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照明系統(tǒng) |
反射照明 |
100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 |
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透射照明 |
纖維光導(dǎo) |
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對焦單元 |
電動(dòng)/手動(dòng) |
手動(dòng) |
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行程 |
32 mm |
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分辨率/微調(diào)靈敏度 |
微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm |
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大樣本高度 |
30 mm |
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物鏡轉(zhuǎn)換器 |
電動(dòng)型 |
明視場微分干涉6孔 |
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明暗視場微分干涉5孔 |
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明暗視場微分干涉6孔 |
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明暗視場微分干涉中心輸出5孔 |
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手動(dòng)式 |
- |
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載物臺 |
行程 |
14×12英寸右下手柄: |
8×8 英寸右下手柄: |
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觀察筒 |
廣角視場 |
倒置 |
雙目/三目觀察筒 |
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正像 |
三目觀察筒 |
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寬視場 |
倒置 |
三目觀察筒 |
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正像 |
傾斜三目觀察筒 |
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附件單元 |
DUV單元/IR單元/電動(dòng)載物臺/自動(dòng)裝載 |
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外形尺寸 |
710(W)×843(D)×507(H)mm |
509(W)×843(D)×507(H)mm |
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重量 |
51 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合) |
40 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合) |
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產(chǎn)品介紹
MX61L/ MX61 300 mm/200 mm半導(dǎo)體檢查顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法(DIC)、熒光法、紅外線法和深紫外線法,保證了的圖像分辨率和鮮明度。
半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 規(guī)格
MX61L
MX61
光學(xué)系統(tǒng)
UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正)
機(jī)身
觀察方法
明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光
反射/透射
反射/透射
照明裝置
機(jī)身一體型(明視場,暗視場+1選件)
照明系統(tǒng)
反射照明
100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
透射照明
纖維光導(dǎo)
對焦單元
電動(dòng)/手動(dòng)
手動(dòng)
行程
32 mm
分辨率/微調(diào)靈敏度
微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm
大樣本高度
30 mm
物鏡轉(zhuǎn)換器
電動(dòng)型
明視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉5孔
明暗視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉中心輸出5孔
手動(dòng)式
-
載物臺
行程
14×12英寸右下手柄:
356(X)×305(Y)mm
(透射照明范圍356×284 mm)
8×8 英寸右下手柄:
210(X)×210(Y)mm
(透射照明范圍189×189 mm)
6×6 英寸右下手柄:
158(X)×158(Y)mm
觀察筒
廣角視場
(視場數(shù)22)
倒置
雙目/三目觀察筒
正像
三目觀察筒
寬視場
(視場數(shù)26.5)
倒置
三目觀察筒
正像
傾斜三目觀察筒
附件單元
DUV單元/IR單元/電動(dòng)載物臺/自動(dòng)裝載
外形尺寸
710(W)×843(D)×507(H)mm
(標(biāo)準(zhǔn)組合)
509(W)×843(D)×507(H)mm
(標(biāo)準(zhǔn)組合)
重量
51 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合)
40 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合)