配備新開發(fā)的高效輸送機(jī)構(gòu)和 WPH 優(yōu)化算法。 憑借 1 張桌子、1 個頭和雙模塊系統(tǒng)，Ebara 在保留高可靠性結(jié)構(gòu)的同時進(jìn)一步提高了生產(chǎn)率。 采用靈活的運(yùn)輸機(jī)制和進(jìn)一步的交叉污染對策，有助于提高產(chǎn)量。 此外，它具有易于修改和升級的模塊化結(jié)構(gòu)，因此可以在將來擴(kuò)展功能時在短時間內(nèi)引入新功能。
此外，與 F-REX300X 型號相比，功耗降低了約 10%，并且減少了零件數(shù)量，從而減少了供應(yīng)鏈中的 CO2 排放量。 它支持更環(huán)保的半導(dǎo)體制造。

北崎8年，日本會社20年，專注領(lǐng)域如下：
儀器相關(guān)：
山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設(shè)備相關(guān)：
柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫森KOKUSAN

光源相關(guān)：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

電氣控制：
SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）