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北崎供應EBARA 荏原 G-WS 濕式廢氣處理器
2025/03/13 09:10:03
北崎供應EBARA 荏原 G-WS 濕式廢氣處理器
北崎供應EBARA 荏原 G-WS 濕式廢氣處理器
型號 G-WS
節(jié)省空間的濕式廢氣處理系統(tǒng),非常適合以低成本處理水溶性氣體
濕式廢氣處理系統(tǒng)
多種氣體的批處理
副產(chǎn)品對策
長期維護間隔
運行成本低
初期成本低
提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL
產(chǎn)品介紹
這是一種可以低成本安裝和運行的濕式廢氣處理系統(tǒng)。 它不需要燃料,并且基于 EBARA 的副產(chǎn)品對策實現(xiàn)了長期維護周期,這些對策是在燃燒式廢氣處理設備中積累的 10 多年中培養(yǎng)的。 有助于穩(wěn)定運行,降低維護成本和人工。 此外,維護空間僅在設備的前部。 即使在有限的 sub-fab 空間內(nèi),也可以實現(xiàn)高度靈活的布局。
待處理氣體:可在室溫下處理的水溶性氣體,如 NH3、DCS、TiCl4、WF6、HF 和 HCl
規(guī)范
型 | 單位 | G-WS1000 系列 | |
*處理風量 | 升/分鐘 | 1,000 | |
連接的入口數(shù)量 | 4 | ||
外形尺寸
|
毫米 | 寬914×D736×H1,727 | |
效用
|
水 | 升/分鐘 | 1 - 10 |
位移 | 升/分鐘 | 1 - 10 | |
氮 | 升/分鐘 | 15-50 | |
權(quán)力 | 1.8-3.5kW 三相 AC 200V (50/60Hz) | ||
排氣管道(處理氣體) | 1.5 | ||
排氣管 (外殼排氣) | 米3/分鐘 | 1.3 | |
主要可處理氣體
|
Epi 系列 | 鹽酸、DCS | |
心血管疾病 | 氟化鎂6、NH3、氯化鈦4、氯化鈍3、氟化硅3、硅化硅*、F2* | ||
蝕刻 | BCl3、HCl、HF、HBr、SiF4、Br2*、Cl2*、F2* | ||
阿瑟 | NH3 | ||
無法濕法處理的氣體 | H2、SiH4、PH3、GeH4、CH4、PFC(CF4、SF6、NF3)等。 | ||
*請在處理時與我們聯(lián)系 |
儀器相關(guān):
山高SANKO(代理)、東機產(chǎn)業(yè)TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、東日技研DIT(代理)、杉山電機SUGIYAMA(代理)、愛安德AND(廠家合作)、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA(代理)
備件設備相關(guān):
柴田SIBATA(代理)、 壺坂TSUBOSAKA(代理)、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口電熱SAKAGUCHI(代理)、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(廠家合作)、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機理化EYELA、科庫森KOKUSAN
光源相關(guān):
巖崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰寫速CCS(代理)、萊寶克斯REVOX(代理)、索萊克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龍FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制:
SIEMENS西門子(廠家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON歐姆龍(廠家合作)、基恩士KEYENCE(廠家合作)