可確保精度范圍在±1%S.P.（設(shè)定值）的高性能數(shù)字通訊質(zhì)量流量控制器。

搭配LINTEC獨(dú)創(chuàng)的環(huán)境溫度補(bǔ)足式質(zhì)流傳感器，即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)高精度的流量測(cè)量。 它可抑制由于傳感器受熱而導(dǎo)致的老化劣化，可以對(duì)臭氧等高度可降解的氣體進(jìn)行流量控制。

可搭載的選配規(guī)格包括：液化氣體、小流量 F.S.、大流量范圍、表面實(shí)裝和接頭名稱。

高性能數(shù)字通訊MFC

特點(diǎn)

• 精度范圍±1%S.P.

• 使用溫度5~50℃

• 金屬密封件

• 無(wú)塵生產(chǎn)（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）

• 周圍溫度補(bǔ)償式傳感器

• RS-485數(shù)字通訊接口

選配規(guī)格

• 小流量F.S.

• 液化氣體

• 大流量范圍

使用范例

半導(dǎo)體生產(chǎn)前端工藝

由于CVD（化學(xué)氣相沉積法）、ALD（原子層沉積法）鍍膜設(shè)備和蝕刻設(shè)備中使用高活性氣體，因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質(zhì)量流量控制器至關(guān)重要。

此外，前驅(qū)體在常溫常壓下含有大量液化氣體，因此具有耐熱性且不易液化的閥門結(jié)構(gòu)很重要。 選擇LINTEC高性能質(zhì)量流量控制器MC-3000L，則可選配【液化氣體】【*工作溫度50°C（可選至55°C）】等相應(yīng)規(guī)格。

分析設(shè)備

分析設(shè)備可能需要控制極小流量，但一般質(zhì)量流量控制器的*小F.S.為5SCCM，因此無(wú)法對(duì)應(yīng)。 MC-3000L高精度質(zhì)量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低流量范圍。

此外，高性能質(zhì)量流量控制器MC-3000L還標(biāo)配死體積較小的隔膜閥。

詳情請(qǐng)致電或郵件咨詢。

規(guī)格表

※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。　根據(jù)選配規(guī)格變化。

北崎9年，日本會(huì)社20年，專注領(lǐng)域如下：

儀器相關(guān)：

山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛(ài)安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛(ài)安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設(shè)備相關(guān)：

柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫(kù)森KOKUSAN

光源相關(guān)：

巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

電氣控制：

SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）

北崎優(yōu)勢(shì)：

1、以下三大類前6項(xiàng)均為日本原廠授權(quán)代理銷售；其它為廠家項(xiàng)目授權(quán)代理銷售；

2、未歸類的為我司日本本社向日本原廠直接采購(gòu)，可提供關(guān)單和產(chǎn)地證明。

光源類：

1、EYE巖崎——UV燈、照度計(jì) （備庫(kù)銷售）

2、SEN日森——UV固化裝置、高壓水銀燈、紫外光清洗設(shè)備 （備庫(kù)銷售）

3、CCS晰寫速——環(huán)形光源、面光源、光源箱   （部份光源可提供試樣）

4、REVOX萊寶克斯——光源箱

5、SERIC索萊克——人工太陽(yáng)照明燈

6、POLARION普拉瑞——強(qiáng)光燈

7、FUNATECH船越龍——目視檢查燈  （備庫(kù)銷售）

8、USHIO牛尾——UV汞燈、小燈泡

9、ATIEC艾泰克——光源、條光、同軸光、強(qiáng)光燈

10、YAMADA依夢(mèng)達(dá)——光源 （備庫(kù)銷售）

儀器儀表類：

1、SANKO山高——膜厚儀、金屬探測(cè)儀  

2、TOKI東機(jī)產(chǎn)業(yè)——粘度計(jì)

3、SONIC索尼克——超聲波風(fēng)速儀、氣體及液體流量計(jì) （備庫(kù)銷售）

4、SAKAGUCHI坂口電熱——熱電偶、耐熱線、熱電對(duì)

5、DIT東日技研——靜電消除器、離子風(fēng)棒

6、SUGIYAMA杉山電機(jī)——下死點(diǎn)檢測(cè)儀、誤送檢測(cè)裝置 （備庫(kù)銷售）

7、IIJIMA飯島電子——酸素計(jì)、氧氣分析儀、濃度計(jì)

8、TORAY東麗——?dú)怏w分析儀

9、HIOKI日置——功率分析儀、記錄儀、電流傳感器

10、TOPCON拓普康——色彩亮度計(jì)、輝度計(jì)、照度計(jì)  （備庫(kù)銷售）

11、KYOWA共和——應(yīng)變儀、應(yīng)變片、傳感器  （部份備庫(kù)銷售）

12、USHIO牛尾——照度計(jì) （備庫(kù)銷售）

13、ORC歐阿希——照度計(jì) （備庫(kù)銷售）

14、AND愛(ài)安德——水分計(jì)、天平、粘度計(jì) （備庫(kù)銷售）

15、YASKAWA安川——磁性開(kāi)關(guān) （備庫(kù)銷售）

16、RKC——熱電偶、溫控器 （備庫(kù)銷售）

17、EXCEL——聽(tīng)音機(jī) （備庫(kù)銷售）

小設(shè)備類：

1、SIBATA柴田——環(huán)境凈化設(shè)備、大流量采樣器、微型泵 （部份備庫(kù)銷售）

2、YAMATO雅馬拓——恒溫箱、干燥箱、氣氛爐

3、NEWKON新光——打孔機(jī)、鋼印機(jī)

4、MUSASHI武藏——點(diǎn)膠機(jī)

5、KAIJO凱捷——清洗機(jī)

6、TSUBOSAKA壺坂——對(duì)比度儀

7、EYELA東京理化---旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀

8、NIDEC尼得科——減速機(jī)

9、AKiribis雅科貝斯——加工平臺(tái)、高速直驅(qū)電機(jī)

10、OTSUKAEL大塚——光學(xué)膜厚儀、粒度儀

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