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ULVAC愛發(fā)科 隔膜干式真空泵 DAU-20
ULVAC愛發(fā)科 隔膜干式真空泵 DAU-20
ULVAC愛發(fā)科 隔膜干式真空泵 DAU-20
隔膜干式真空泵是一種利用隔膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)來排出空氣的真空泵。
隔膜式干式真空泵用于真空抽真空、真空濃縮、過濾、脫氣和消泡、真空吸盤、薄膜吸附、包裝機(jī)械、光學(xué)機(jī)械、真空鑷子、醫(yī)療機(jī)械、印刷機(jī)械等。
高真空型 / 3段式排氣系統(tǒng) / 內(nèi)置熱保護(hù)器 / 帶插頭的電源線 / 帶開關(guān)
長處
在氣體接觸部分不使用油的干式真空泵。
一種高真空型干式真空泵,具有改進(jìn)的極限壓力性能。
可用作渦輪分子泵的輔助泵。
內(nèi)置自動(dòng)返回?zé)岜Wo(hù)器的安全設(shè)計(jì)。
它可以在大氣壓下運(yùn)行。
結(jié)構(gòu)簡單,易于維護(hù)。
用法說明
1. 如果泵在負(fù)載運(yùn)行期間停止,然后立即重新啟動(dòng),則可能無法重新啟動(dòng)。
在這種情況下,請將泵內(nèi)部恢復(fù)到大氣壓。
2. 請勿吸入腐蝕性氣體、有機(jī)溶劑、液體和可凝性氣體(水蒸氣等)。
此外,不要讓污垢或灰塵進(jìn)入泵。
3. 在 DAP-6D 中,M3 螺釘和 M4 螺釘位置尺寸在公差范圍內(nèi)變化,具體取決于底座組件的組合。
當(dāng)該泵要集成到設(shè)備等中時(shí),請將安裝孔做成長孔。
4. 這是一款僅供室內(nèi)使用的真空泵。 請勿將產(chǎn)品安裝在會暴露在雨中或水中的地方,或安裝在室外。
規(guī)范
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2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋:
真空設(shè)備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。