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ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 CR300B
2025/07/01 16:21:17
ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 CR300B
ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 CR300B
多級(jí)羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。
在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域,需要更清潔的真空,并且需要真空泵來(lái)提高產(chǎn)量和可維護(hù)性。 *常見(jiàn)的泵是羅茨干式真空泵。
干式真空泵“型號(hào):CR VerB”是一款已獲得國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)(CE、cTUVus)的風(fēng)冷羅茨型干式真空泵。
排氣室不使用油,轉(zhuǎn)子和氣缸以非接觸方式運(yùn)行,可以長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。
長(zhǎng)處
排氣室是非接觸式的,不使用油,因此可以長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定排氣。
由于不需要冷卻水和氮?dú)猓虼擞兄诮档瓦\(yùn)行成本。
配備直流屏蔽電機(jī),節(jié)能、密閉、輕量化。
氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)蒸汽排放。
標(biāo)準(zhǔn):CE、cTUVus
用
真空排氣清潔氣體,如空氣和惰性氣體
真空干燥等水蒸氣排放(必須使用氣鎮(zhèn))
用于濺射、氣相沉積等的真空設(shè)備。
型 | CR16B 系列 | CR30B 型 | CR60B-S 系列 | CR60B-T 型 | CR300B 系列 | |
*抽速 | m3/小時(shí) | 16 | 30 | 55 | 300 | |
升/分鐘 | 280 | 500 | 920 | 5000 | ||
極限壓力 *1 | 帕 | ≦3.0 | ≦0.5 | |||
*入口壓力 |
|
氣壓 | ||||
*排氣口壓力 |
|
氣壓 | ||||
電源電壓 *2 | 單相:100 V、200 V 三相:200 V | 單相:200V | 三相:200V | 三相:200V | ||
電機(jī)額定值 | 千瓦 | 0.72 | 1.5 | 3.0 | ||
進(jìn)氣口 | KF25 系列 | 肯氟烴40 | KF50 系列 | |||
排氣口 | KF25 系列 | 肯氟烴40 | ||||
質(zhì)量 | 公斤 | 35 | 48 | 100 | ||
法規(guī)遵從性 | CE、cTUVus | |||||
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | |||||
氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu) *3 | 存在 | |||||
*蒸汽處理量 *4 | 克/小時(shí) | <300 | <500 | |||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 電源連接器、信號(hào)連接器、使用說(shuō)明書(shū)、空氣過(guò)濾器、防護(hù)裝置 |
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋:
真空設(shè)備:干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽(yáng)能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。