EBARA荏原 干式真空泵 EV-S20

EBARA荏原 干式真空泵 EV-S20

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。與傳統(tǒng)的油封式真空泵相比，干式真空泵具有無油污染、維護簡單、環(huán)保性能優(yōu)越等特點，因此在半導(dǎo)體制造、制藥、化工、食品加工等高潔凈度要求的行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。

作為中等負荷工藝的干式真空泵，搭載荏原的節(jié)能技術(shù)，采用面向自 動化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計，并進一步實現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。 

干式真空泵通過機械運動直接抽除氣體，無需液體密封或潤滑。其工作原理主要依賴于轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿等機械結(jié)構(gòu)的運動，將氣體從進氣口吸入并壓縮，*終從排氣口排出。常見的干式真空泵類型包括螺桿式、爪式、旋片式和渦旋式等。

主要特點

無油污染：干式真空泵在運行過程中不使用油或其他液體介質(zhì)，避免了油蒸氣對工藝環(huán)境的污染，特別適合對潔凈度要求極高的行業(yè)，如半導(dǎo)體和制藥。

低維護成本：由于無需定期更換油液或處理廢油，干式真空泵的維護成本較低，且運行更加可靠。

環(huán)保性能優(yōu)越：干式真空泵減少了油類廢棄物的產(chǎn)生，符合現(xiàn)代工業(yè)對環(huán)保和可持續(xù)發(fā)展的要求。

高效節(jié)能：干式真空泵通常采用*的設(shè)計和材料，具有較高的抽氣效率和能源利用率。

適應(yīng)性強：能夠處理含有粉塵、顆粒或腐蝕性氣體的介質(zhì)，適用范圍廣泛。