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Heidenhain海德漢光柵尺LB383 5240結(jié)構(gòu)
光柵尺,也稱為光柵尺位移傳感器(光柵尺傳感器),是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)。其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖,具有檢測(cè)范圍大,檢測(cè)精度高,響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。
光柵測(cè)量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴,且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率,需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分,光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí),在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋,隨著光柵的移動(dòng),莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對(duì)光柵柵距的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測(cè)量。
在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi),按照一定間隔放置4個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如,柵線為50線對(duì)/mm的光柵尺,其光柵柵距為0.02mm,若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計(jì)數(shù)脈沖,這在工業(yè)普通測(cè)控中已達(dá)到了很高精度
讀數(shù)頭污染?:光柵尺對(duì)污染非常敏感,可能導(dǎo)致數(shù)據(jù)不顯示或顯示異常。
?參數(shù)設(shè)置丟失?:錯(cuò)誤的參數(shù)設(shè)置或丟失可能導(dǎo)致光柵尺無(wú)法正常工作。需要進(jìn)入系統(tǒng)參數(shù)界面核對(duì)分辨率設(shè)置、信號(hào)倍頻系數(shù)等,必要時(shí)恢復(fù)出廠參數(shù)并重新進(jìn)行參考點(diǎn)校準(zhǔn)?。
?機(jī)械安裝異常?:安裝問(wèn)題可能導(dǎo)致隱性故障??梢允褂?.02mm塞尺檢查讀數(shù)頭與柵尺間隙(標(biāo)準(zhǔn)值0.8±0.2mm),使用激光干涉儀檢測(cè)導(dǎo)軌直線度(需≤0.01mm/m),并重新緊固安裝螺栓時(shí)按對(duì)角線順序施力?。
HEIDENHAIN LS 186 540MMID.NR.:336960-41
HEIDENHAIN LC193F ML1540+/-5UM(557676-15)
HEIDENHAIN LC193F ML1340+/-5UM(557676-13)
HEIDENHAIN 533631-06
HEIDENHAIN LC183 ML540+/-3μ(557680-05)
HEIDENHAIN 547300-03
HEIDENHAIN LB382 ML1040MMID-NR.:315416-04
HEIDENHAIN 527392-XX 3MY LS 187C740MM
Heidenhain海德漢光柵尺LB383 5240結(jié)構(gòu)
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