ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 RDA-501H

ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 RDA-501H

多級(jí)羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。

在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護(hù)性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

通過在低溫范圍內(nèi)平衡泵體的熱量，它是 PVD 工藝抽真空的理想泵，尤其是在制備和取出室中，縮短泵送時(shí)間以提高吞吐量非常重要。

長(zhǎng)處

實(shí)現(xiàn)與干式和油動(dòng)力旋轉(zhuǎn)真空泵相同的性能水平。

它可以在從大氣壓到到達(dá)的所有壓力區(qū)域運(yùn)行。

耐水蒸氣。

無需冷卻水。

一個(gè)型號(hào)可支持單相和三相電源。

沒有滑動(dòng)部件，使用壽命長(zhǎng)。

用法說明

1

吸入粉末、產(chǎn)品可能會(huì)損壞泵。

請(qǐng)使用吸塵器。

2

吸入爆炸性、易燃性、有毒、腐蝕性和有機(jī)溶劑氣體等有害氣體可能會(huì)因氣體本身、爆炸、著火等原因?qū)е卤霉收稀?

3

該泵僅供室內(nèi)使用。

請(qǐng)勿將產(chǎn)品安裝在會(huì)暴露在雨中或水中的地方，或安裝在室外。

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。