過(guò)程氣體質(zhì)譜分析儀
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過(guò)程氣體質(zhì)譜分析儀
儀器集成化、自動(dòng)化程度高??蛇x配工業(yè)控制計(jì)算機(jī)和嵌入式操作系統(tǒng)、使儀器集控制與數(shù)據(jù)分析軟件于一體,體積小,抗干擾能力強(qiáng)。
有機(jī)架式和臺(tái)式兩種機(jī)型可選,充分考慮到在線(xiàn)分析的需要。
采用電磁閥或多通旋轉(zhuǎn)閥進(jìn)行過(guò)程中的多氣路切換,實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)、多組分自動(dòng)監(jiān)測(cè),結(jié)構(gòu)輕巧,方便快捷。
采樣和前處理裝置可根據(jù)需求量身定制,方便實(shí)現(xiàn)調(diào)壓、過(guò)濾、除濕、加熱等功能。
可控制溫度的進(jìn)氣管道,有效防止過(guò)程氣體在采樣過(guò)程中冷凝。
雙燈絲,并配有燈絲保護(hù)裝置,大程度的延長(zhǎng)燈絲的使用壽命。
機(jī)身附帶兩級(jí)真空泵,應(yīng)用范圍可從高壓到高真空,根據(jù)用戶(hù)需求組合配置。
快速自動(dòng)校準(zhǔn),包括背景校準(zhǔn)、碎片校準(zhǔn)、電離靈敏度校準(zhǔn)。
人性化的任務(wù)管理功能,用戶(hù)可以自定義設(shè)置分析任務(wù)。
結(jié)果數(shù)據(jù)輸出采用DDE和OPC方式,與其它軟件系統(tǒng)兼容。
具備網(wǎng)絡(luò)接口,可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。
小檢測(cè)分壓:5×10-11 Torr(FC)
5×10-14 Torr(CDEM)
檢出限:≤10ppm(FC)
操作范圍:從常壓到高真空
操作溫度:≤70℃
取樣壓力:≤5 bar(有特殊需求者可訂制)
質(zhì)量分析器:四極桿(Quad)
檢測(cè)器:法拉第筒(FC),電子倍增器(CDEM)可選
離子源:電子轟擊 (EI)源
保的分析結(jié)果。
多通機(jī)械旋轉(zhuǎn)閥死體積小,質(zhì)量可靠。
電子轟擊離子源,通用性強(qiáng)、譜圖結(jié)構(gòu)信息豐富。
精加工的四極桿質(zhì)量分析器和高精度安裝調(diào)試技術(shù)保證近軸電場(chǎng)穩(wěn)定,達(dá)到國(guó)際水平。
系統(tǒng)內(nèi)部合理優(yōu)化的散熱流路設(shè)計(jì)。
分子泵和質(zhì)量分析器采用不同的減震措施,確保儀器運(yùn)行的高可靠性。
真空系統(tǒng)依不同應(yīng)用領(lǐng)域需求不同配置。
全面的標(biāo)準(zhǔn)化和開(kāi)放性:軟件的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存格式和內(nèi)部交換格式均采用通用的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(xml和csv);數(shù)據(jù)發(fā)布采用DDE、OPC兩種方式。
引入“方法”和“任務(wù)”概念,實(shí)現(xiàn)分析過(guò)程全盤(pán)自動(dòng)化。
軟件的開(kāi)發(fā)基于舜宇恒平儀器的統(tǒng)一儀器軟件開(kāi)發(fā)平臺(tái)SHPS1.2。支持長(zhǎng)時(shí)間不間斷在線(xiàn)分析。
多路進(jìn)樣通道、通過(guò)自動(dòng)方法切換,支持多路不同樣品同時(shí)在線(xiàn)檢測(cè)。
半導(dǎo)體行業(yè)/冷媒檢漏
真空檢漏
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