EBARA荏原 干式真空泵 EV-X100N

EBARA荏原 干式真空泵 EV-X100N

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。與傳統(tǒng)的油封式真空泵相比，干式真空泵具有無油污染、維護(hù)簡單、環(huán)保性能優(yōu)越等特點，因此在半導(dǎo)體制造、制藥、化工、食品加工等高潔凈度要求的行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。

作為中等負(fù)荷工藝的干式真空泵，搭載荏原的節(jié)能技術(shù)，采用面向自 動化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計，并進(jìn)一步實現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。 

干式真空泵通過機(jī)械運動直接抽除氣體，無需液體密封或潤滑。其工作原理主要依賴于轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿等機(jī)械結(jié)構(gòu)的運動，將氣體從進(jìn)氣口吸入并壓縮，*終從排氣口排出。常見的干式真空泵類型包括螺桿式、爪式、旋片式和渦旋式等。

主要特點

無油污染：干式真空泵在運行過程中不使用油或其他液體介質(zhì)，避免了油蒸氣對工藝環(huán)境的污染，特別適合對潔凈度要求極高的行業(yè)，如半導(dǎo)體和制藥。

低維護(hù)成本：由于無需定期更換油液或處理廢油，干式真空泵的維護(hù)成本較低，且運行更加可靠。

環(huán)保性能優(yōu)越：干式真空泵減少了油類廢棄物的產(chǎn)生，符合現(xiàn)代工業(yè)對環(huán)保和可持續(xù)發(fā)展的要求。

工作原理

干式真空泵通過機(jī)械運動直接抽除氣體，無需液體密封或潤滑。其工作原理主要依賴于轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿等機(jī)械結(jié)構(gòu)的運動，將氣體從進(jìn)氣口吸入并壓縮，*終從排氣口排出。常見的干式真空泵類型包括螺桿式、爪式、旋片式和渦旋式等。

技術(shù)發(fā)展趨勢

隨著工業(yè)技術(shù)的進(jìn)步，干式真空泵正朝著更高效率、更低噪音和更智能化的方向發(fā)展。例如，采用變頻技術(shù)優(yōu)化能耗，通過智能監(jiān)控系統(tǒng)實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制和故障診斷。此外，新材料的應(yīng)用也進(jìn)一步提升了干式真空泵的耐腐蝕性和使用壽命。