集成了 0.1 μm 過(guò)濾器和加熱器的高溫過(guò)濾器。

它設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的液化氣，并且所有氣體接觸材料都是SUS316L。 Lintec 的低壓降結(jié)構(gòu)。

長(zhǎng)處

  • 過(guò)濾精度為 0.1 μm
  • *200°C
  • 全金屬潔凈結(jié)構(gòu)
北崎供應(yīng) lintec 琳得科VF-0201N高溫過(guò)濾器VF-0201N 系列

使用示例

該加熱過(guò)濾器安裝在汽化系統(tǒng)后面，用于去除可能導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷的垂直和霧氣。