低壓差質(zhì)量流量控制器，*小工作壓差為 800 Pa。

專有的環(huán)境溫度補償傳感器、低壓降規(guī)格和 ±1% F.S. 的精度降低了壓降。

的壓電陶瓷致動器閥，可在低壓差下實現(xiàn)的流量控制和穩(wěn)定性。

MC-3102S 系列

使用示例

低蒸氣壓、氣體、低溫流量控制

MC-3000S 是一種低差壓質(zhì)量流量控制器，由于其專有的低壓降結(jié)構(gòu)，只要二次側(cè)處于真空狀態(tài)，就可以在室溫下控制 H2O 等液體原料的流量。 用于 ITO 濺射方法等，其中少量水蒸氣被送入真空室。 此外，還可以在室溫下控制低蒸氣壓固體原料（如 XeF2）的流速。

減壓罐式容器 （SDS 容器） 的流量控制

在離子注入機中，使用 AsH3 和 PH3 等特殊材料氣體，通常使用安全輸送源 （SDS） 容器來安全穩(wěn)定地供應它們。 SDS 的罐壓低于大氣壓，需要具有低壓差和流量控制的 MFC。 MC-3000S 具有的低壓降結(jié)構(gòu)，允許以 800 Pa （6 Torr） 的*小壓差進行流量控制。

規(guī)格表

* 規(guī)格表是具有一般規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。 可以通過 options 進行更改。